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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제9호
발행연도
2004.9
수록면
167 - 173 (7page)

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The heterodyne He-Ne laser interferometer is the most widely used sensing unit to measure the position error. It measures the positioning error from the displacement of a moving reflector in terms of the wave length. But, the wave length is affected by the variation of atmospheric temperature. Temperature variation of 1℃ results in the measuring error of 1 ppm. In this paper, for measuring more accurately the position error of the ultra precision stage, the refractive index compensation method is introduced. The wave length of the laser interferometer is compensated using the simultaneously measured room temperature variations in the method. In order to investigate the limit of compensation, the stationary test against two fixed reflectors mounted on the zerodur® plate is performed firstly. From the experiment, it is confirmed that the measuring error of the laser interferometer can be improved from 0.34㎛ to 0.11㎛ by the application of the method. Secondly, for the verification of the compensating effect, it is applied to estimate the positioning accuracy of an ultra precision aero static stage. Two times of the refractive index compensation are performed to acquire the positioning error of the stage from the initially measured data, that is, to the initially measured positioning error and to the measured positioning error profile after the NC compensation. Although the positioning error of an aerostatic stage cannot be clarified perfectly, it is known that by the compensation method, the measuring error by the laser interferometer can be improved to within 0.1㎛.
#Ultra precision static stage(초정밀 스테이지) #laser interferometer(레이저간섭계) #Measuring error(측정오차) #Positioning error(위치 오차) #Refractive index compensation(굴절률 보정) #Repeatability(반복정밀도)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치의 구성
3. 레이저간섭계에 의한 위치결정정밀도 측정특성 분석
4. 레이저간섭계의 굴절률 보정
5. 공기 스테이지 오차측정에의 적용
6. 결론
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