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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제18권 제11호
발행연도
2001.11
수록면
138 - 147 (10page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 진공용 3자유도 얼라인먼트 스테이지 설계 및 제작
3. 스테이지의 기구학적 모델 작성 및 해석
4. 구동 및 보정 실험
5. 결론
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