진동 실험을 바탕으로 한 스테이지 모델링 개선

이정석 ,  정재일 ,  임홍재

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .03

진동 실험을 바탕으로 한 등가 스테이지 모델링

이정석 ,  이성훈 ,  정재일 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2009 .11

진동 실험을 바탕으로 한 정렬 스테이지 등가 모델링

임홍재 ,  이정석 ,  이성훈 외 1명

한국소음진동공학회논문집

2010 .04

나노 임프린팅 스테이지의 정렬제어 시 발생하는 진동해석

이용훈 ,  이정석 ,  정재일 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .11

초정밀 6자유도 스테이지의 모델링 및 해석

문준희 ,  박종호 ,  박희재

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .05

3 자유도 정렬 스테이지의 자가교정과 보정

김재완 ,  김종안 ,  장영석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

진공용 3자유도 얼라인먼트 스테이지 개발

한상진 ,  박종호 ,  박희재

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2001 .11

위치결정 스테이지 베이스 진동 모델링 및 저감기법 개발

박아영 ,  임재곤 ,  홍성욱

한국생산제조학회지

2010 .08

고정도, 초박형 Alignment Stage 개발

김지성 ,  황진동 ,  김명수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

초정밀 스테이지용 능동 진동제어시스템 설계

이주훈 ,  이세한 ,  황돈하 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

유연힌지형 정밀스테이지의 모델링 및 진동제어

김재익 ,  황윤식 ,  김영식 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2009 .04

나노 임프린트 장비의 정밀도 확보를 위한 Z축 변위 해석

이성훈 ,  이용훈 ,  이강욱 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .05

간접 가진을 이용한 나노 임프린트 스테이지의 진동 해석

박성빈 ,  이강욱 ,  이상범 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .05

에어베어링을 이용한 회전형 스테이지 설계에 관한 연구

윤덕원 ,  김진호 ,  신동익 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

초정밀 3축 이송 스테이지의 설계, 모델링 및 해석

강중옥 ,  서문훈 ,  한창수 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .10

극초정밀 스테이지를 이용한 광소자 정렬 자동화에 관한 연구

정상화 ,  김현욱 ,  최석봉 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2005 .10

다채널 광정렬 장치 로터리 스테이지 개발에 관한 연구

정상화 ,  차경래

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

노광시스템을 위한 자동 정렬 비젼시스템

조태훈 ,  서재용

반도체및디스플레이장비학회지

2007 .01

2축 정밀 스테이지의 구동 기초 실험

송신형 ,  황은주 ,  민경석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .05

Performance Analysis of Scaffold Fabrication System Based on Micro-stereolithography Technology

이승재

한국기계기술학회지

2012 .01