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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
2,313 - 2,316 (4page)

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This paper presents high cycle fatigue properties of an Al-3%Ti thin film, used in a RF (radio-frequency) MEMS switch for a mobile phone and also describes new test method for obtaining static and dynamic characteristics of thin film and reliability evaluation method on MEMS device with thin film developed by authors. Durability should be ensured for such devices under cycling load. Therefore, with the proposed specimen and test procedure, tensile and fatigue tests were performed to obtain mechanical and fatigue properties. The specimen was made with dimensions of 1000㎛ long, 1.0㎛ thickness, and 3 kinds of width, 50, 100 and 150㎛. High cycle fatigue tests for each width were also performed, from which the fatigue strength coefficient and the fatigue strength exponent were found to be 193㎫ and ?0.02319 for 50㎛, 181㎫ and ?0.02001 for 100㎛, and 164㎫ and ?0.01322 for 150㎛, respectively. We found that the narrower specimen is, the longer fatigue life of Al-3%Ti is and the wider specimen is, the more susceptible to stress level fatigue life of Al-3%Ti was.
#Thin Film(박막) #Fatigue Properties(피로성질) #Size Effect(크기영향) #Al-3%Ti

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로 시편의 구조
3. 시험 결과
4. 결론
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