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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.11
- 수록면
- 1 - 6 (6page)
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Moire interferometry is a useful technique to assess the reliability of electronic package because Moire interferometry can measure the whole-field and real-time deformations. The shear strain of a small crack site is important to the reliability assessment of electronic package. The optical limitation of Moire interferometry makes ambiguous the shear strain of a small area. An atomic force microscope (AFM) is used to measure the profile of a micro site. High resolution of AFM can apply to the Moire technique. AFM Moire technique is useful to measure the shear strain of a small area. In this research, the method to accurately measure the deformation of a small area by using AFM Moire is proposed. A phase-shifting method is applied to improve the resolution of AFM Moire.
목차
Abstract
1. 서론
2. 원자 현미경 모아레의 원리
3. 실험 결과
4. 결론
후기
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