「초정밀 X-ray 노광장치 원리 및 개발동향」(上)

송기무

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1990 .06

투영노광장치용 고속.고정밀 Stage계의 연구동향

장원익 ,  이용일 ,  김보우

[ETRI] 전자통신동향분석

1990 .03

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

하이브리드 자외선 노광법을 이용한 3차원 고종횡비 미소구조물 제작

박성민 ,  남경목 ,  김종훈 외 1명

대한기계학회 논문집 A권

2016 .08

Laser Produced Soft X-ray Source For X-ray Lithography

김병태

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

X-Ray Lithography : Recent Progress and Future Developments

Katsumi Suzuki

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

전자빔의 파라미터에 따른 노광특성 분석

오승훈 ,  김재구 ,  최두선 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .06

X - Ray Lithography Overview and System Design Consideration

유형준

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

X-선 노광용 마스크 제작에 관한 연구

이문석 ,  김오현

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

레이저 직접 노광시스템의 3D lithography를 위한 자동초점시스템 제어

김영광 ,  김영식 ,  이혁교

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

반도체 노광을 위한 초정밀 웨이퍼 스테이지의 설계 및 계측제어

김승우 ,  이창우 ,  오정석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1994 .05

선택적 경사 노광과 후면 노광에 의한 3차원 구조물의 제작

李準燮 ,  申鉉俊 ,  文盛昱 외 2명

전기학회논문지 C

2004 .01

21세기를 향한 노광기술과 스텝퍼

이용일 ,  박흥옥

[ETRI] 전자통신동향분석

1992 .12

Synchrotron X-ray Lithography

윤창주

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

저전압 가속 전자빔 응용 노광 특성

김재구 ,  오승훈 ,  조성학 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01