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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제9호
발행연도
2005.9
수록면
69 - 76 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

레이저 간섭계의 진직도 측정오차 보상
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2001

레이저 간섭계의 진직도 측정오차 보상
김경호 ,  김태호 ,  송창규 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2001.05 학술대회자료

초록· 키워드

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The laser interferometer system such as HP5529A is one of the most powerful equipment for measurement of the straightness error in precision stages. The straightness measurement system, HP5529A is composed of a Wollaston prism and a reflector. In this system, the straightness error is defined as relative lateral motion change between the prism and the reflector and computed from optical path difference of two polarized laser beams between these optics. However, rotating motion of the prism or the reflector used as a moving optic causes unwanted straightness error.
In this paper, a compensation method is proposed for removing the unwanted straightness error generated by rotating the moving optic and an experiment is carried out for theoretical verification. The result shows that the unwanted straightness error becomes very large when the reflector is used as the moving optic and the distance between the reflector and the prism is far. Therefore, the prism must be generally used as the moving optic instead of the reflector so as to reduce the measurement error. Nevertheless, the measurement error must be compensated because it's not a negligible error if a rotating angle of the prism is large. In case the reflector must be used as the moving optic, which is unavoidable when the squareness error is measured between two axes, this compensation method can be applied and produces a better result.
#Laser interferometer(레이저 간섭계) #Straightness measurement(진직도 측정) #Angular error(각도 오차) #Error compensation(오차 보상) #Precision stage(정밀 스테이지)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 진직도 오차 측정 원리
3. 진직도 측정오차 보상 방법
4. 실험 결과
5. 결론
참고문헌

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