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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.6
발행연도
2007.6
수록면
86 - 95 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

진공용 공기베어링 배기시스템의 최적설계
김경호 ,  박천홍 ,  이후상 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.06 학술저널

2006

진공용 공기베어링 배기시스템의 최적설계
김경호 ,  박천홍 ,  이후상 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.10 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper presents the optimal design of an exhaust system of a vacuum-compatible air bearing using a genetic algorithm. To use the air bearings in vacuum conditions, the differential exhaust method is adopted to minimize the air leakage, which prevents air from leaking into a vacuum chamber by recovering air through several successive seal stages in advance. Therefore, the design of the differential exhaust system is very important because several design parameters such as the number of seals, diameter and length of an exhaust tube, pumping speed and ultimate pressure of a vacuum pump, seal length and gap(bearing clearance) influence on the air leakage, that is, chamber's degree of vacuum. In this paper, we used a genetic algorithm to optimize the design parameters of the exhaust system of a vacuum-compatible air bearing under the several constraint conditions. The results indicate that chamber's degree of vacuum after optimization improved dramatically compared to the initial design, and that the distribution of the spatial design parameters, such as exhaust tube diameter and seal length, was well achieved, and that technical limit of the pumping speed was well determined.
#Vacuum-compatible air bearing(진공용 공기베어링) #Differential exhaust system(자동배기시스템) #Optimal design(최적 설계) #Genetic algorithm(유전 알고리즘) #Degree of vacuum(진공도)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 진공요 공기베어링 구조 및 설계변수의 영향분석
3. 유전 알고리즘을 이용한 최적설계
4. 최적설계 결과
5. 결론
참고문헌

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