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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.12
발행연도
2008.12
수록면
132 - 138 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2009

공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 미소구동특성 평가
김경호 ,  박천홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
고진공 환경용 공기베어링이 적용된 직선, 회전스테이지의 구동에 의한 압력증가 특성분석
김경호 ,  박천홍 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.08 학술저널

2008

전자빔 마스터링을 위한 공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 설계 및 진공특성 평가
김경호 ,  송창규 ,  박천홍 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.12 학술저널
공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 진공특성 평가
김경호 ,  송창규 ,  박천홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

초록· 키워드

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Recently, mastering processes for high density optical disc such as Blu-ray disc rely on electron beams, which are operable in only vacuum. In the mastering process, one of the most important tasks is to design precision stages for providing precise positioning of the works with respect to the source in a high vacuum environment. In this paper, we have developed a precision rotation table usable in the electron beam mastering. The rotation table adopted air bearings for a high positioning repeatability and velocity stability. The air leakage from the air bearings has been minimized by employing the differential exhaust scheme using three steps of air drain. The design parameters such as diameters of exhaust lines, seal lengths, and pumping speeds were decided according to the optimization method using genetic algorithm. The performance on the vacuum level of the rotation table was evaluated experimentally and theoretically. The results indicate that a vacuum level of 10?⁴ ㎩ is achieved with operation of air bearings in a vacuum chamber, which is sufficient for the electron beam mastering.
#Rotation Table(회전테이블) #Air Bearings(공기베어링) #Electron Beam Mastering(전자빔 마스터링) #Blu-ray Disc(블루레이 디스크) #Vacuum Environment(진공환경)

목차

1. 서론
2. 고진공 회전테이블 설계
3. 회전테이블의 진공특성 실험
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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선형 유도기 구동 방식 공기 베어링 스테이지에 관한 연구
정광석 ,  심기본 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2010 .06

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