엑사이머 레이저 어블레이션 가공에서의 빔변수의 영향

방세윤

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자료유형: 학술저널

저자정보: 방세윤

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제7호

발행연도: 2005.7

수록면: 38 - 46 (9page)

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2005

엑사이머 레이저 어블레이션 가공에서의 빔변수의 영향

방세윤 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005.07 학술저널

1997

엑사이머 레이저가공에서의 빔변수의 영향 ( Effects of Beam Parameters on Excimer Laser Machining )

방세윤 , 윤경구 , 황경현 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 1997.01 학술대회자료

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In laser machining such as drilling with C0₂ or Nd:YAG laser, and etching or ablation with Excimer laser, one of the most important parameters affecting the machining is known to be beam characteristics. In this paper a numerical study is performed to investigate the effects of beam parameters, especially in the process of excimer laser ablation of polymers. Results of different beam conditions reveal that if the ablated depth is small compared to beam size the simple photochemical etching model is suitable to predict the etched shape, and that the importance of precise alignment becomes large as beam quality factor becomes larger.

#Excimer laser(엑사이머 레이저) #Ablation(어블레이션) #Beam parameters(빔변수) #Photochemical process(광화학적 가공과정)

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