레이저를 이용한 준삼차원 미소형상 가공 모델링

방세윤; 신귀성; 윤경구; 황경현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 방세윤 신귀성 윤경구 황경현

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제7호

발행연도: 2005.7

수록면: 79 - 87 (9page)

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This paper summarizes the work on the development of a simulation program for modelling the process of machining quasi-three dimensional shape with the excimer laser beam on a constantly moving polymers. Relatively simple masks of rectangle, triangle and half circle shape are considered. The etching depth is calculated by considering the number of laser pulses irradiated on the specimen surface. It was found that similar shapes as experimental results can be obtained by choosing suitable parameters of moving velocity, moving distance and mask sizes.

#Laser ablation(레이저 어블레이션) #Excimer lasers(엑사이머 레이저) #Polymer(폴리머) #Micromachining(미세가공) #Quasi-three-dimensional shape(준삼차원 형상)

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Duley,W. W., , 1996. , UV Lasers - Effects and Applications in Materials Science

Yoon , 2000. , Laser Beam Application and Technology in Micro Machining J. of KSPE 17 : 28 ~ 35

Yoon , pp.191-1952000. , Fabrication of Micro Cylindrical Lens Using UV Laser 2000 Proc. of 2nd Korean MEMS Conference

Bang , , Modeling of Polymer Ablation with Excimer Lasers submitted to J. of KSPE.

Bang,S. Y., , 200 , Effects of Beam Parameters on Excimer Laser Ablation 22

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방세윤

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신귀성

소속기관 한국정밀공학회

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윤경구

소속기관 한국정밀공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 31 이용수 1,154

황경현

소속기관 한국기계연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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