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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 韓國工作機械學會 2001 秋季學術大會 論文集
발행연도
2001.10
수록면
68 - 74 (7page)

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목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. Modelling of Ultra Precision Positioning Apparatus
3. The Design of Control System
4. Test of Ultra Precision Positioning and Investigation
5. CONCLUSION
참고문헌

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