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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제4호
발행연도
2005.4
수록면
84 - 91 (8page)

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We measured the pitch of one-dimensional (1D) grating specimens using a metrological atomic force microscope (M-AFM). The 1D grating specimens are often used as a magnification standard in nano-metrology, such as scanning probe microscopy (SPM) and scanning electron microscopy (SEM). Thus, we need to certify the pitch of grating specimens for the meter-traceability in nano-metrology. To this end, an M-AFM was setup at KRISS. The M-AFM consists of a commercial AFM head module, a two-axis flexure hinge type nanoscanner with built-in capacitive sensors, and a two-axis heterodyne interferometer to establish the meter-traceability directly. Two kinds of 1D grating specimens, each with the nominal pitch of 288 ㎚ and 700 ㎚, were measured. The uncertainty in pitch measurement was evaluated according to Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement. The pitch was calculated from 9 line scan profiles obtained at different positions with 100 ㎛ scan range. The expanded uncertainties (ｋ＝2) in pitch measurement were 0.10 ㎚ and 0.30 ㎚ for the specimens with the nominal pitch of 288 ㎚ and 700 ㎚. The measured pitch values were compared with those obtained using an optical diffractometer, and agreed within the range of the expanded uncertainty of pitch measurement. We also discussed the effect of averaging in the measurement of mean pitch using M-AFM and main components of uncertainty.
#Metrological atomic force microscope(미터 소급성을 갖는 원자간력 현미경) #Nanometrology(나노메크롤로지) #1D grating(1차원 격자) #Mean pitch(평균 피치) #Uncertainty analysis(불확도 해석)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 피치 측정
3. 피치 측정 불확도
4. 피치 측정 실험
5. 결론
후기
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