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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 미세패턴가공의 원리
3. 실리콘 미세패턴가공
4. 결론
참고문헌
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마스크에 대한 기계적 가공을 이용한 단결정 실리콘의 미세 패턴 가공
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1999 .02
실리콘의 화학기계적 미세가공 특성
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .01
Magnetic field effect analysis on a single silicon crystal system
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .07
단결정 실리콘의 초정밀가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .10
저가 , 고효율 단결정 실리콘 태양전지의 제조 ( Fabrication of Low cost , High Efficiency Single Crystal Silicon Solar Cells )
전자공학회논문지-A
1994 .07
단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
단결정 실리콘의 이방성 식각특성
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
가공조건에 따른 단결정 실리콘의 연성가공한계 분석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2016 .04
BaTiO3 단결정을 이용한 광 논리 처리기에 관한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .11
단결정 동 재료의 초정밀 미세 절삭 가공 특성
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2006 .06
단결정 실리콘의 기계가공 시 가공속도에 따른 임계배분력 분석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .10
레이저 미세 패턴 가공에 관한 실험적 연구
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2005 .01
단결정 실리콘 박막의 대면적 전사공정에서 파손 기작에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2011 .04
단결정 실리콘의 나선 전위 이동에 미치는 온도 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .05
미세 기계가공법과 SAM을 이용한 폭 1㎛이하의 실리콘 선 가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .11
박막화 과정을 거친 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 물성에 크기 및 방향이 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .04
MEMS 공정을 이용한 단결정 실리콘 미세 인장시편과 미세 변형 측정용 알루미늄 Marker의 제조
소성·가공
2004 .04
다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )
전자공학회논문지-A
1994 .11
ZnSe, ZnSe:Ho³+, Mg0.15Zn0.85Se 및 Mg0.15Zn0.85Se:Ho³+단결정의 광발광 특성에 관한 연구
전기학회논문지 C
2001 .09
압전구동기를 이용한 단결정 실리콘의 미세파괴거동 관찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .05
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