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이용수
요약
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
5. 참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석
전기학회논문지
1996 .10
반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구 ( A Study on Anisotropic Etching of Silicon Suitable for IC Process )
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
Anisotropic Etching Property on Porous Silicon Formation
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )
대한전자공학회 학술대회
1996 .07
( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
수용성 암모니아계를 이용한 실리콘 이방성 식각 ( Anisotropic Etching of Silicon with Aqueous Ammonia )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
MEMS 응용을 위한 Ar+ 이온 레이저에 의한 단결정/다결정 실리콘 식각 특성
전기학회논문지 C
1999 .05
Magnetic field effect analysis on a single silicon crystal system
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .07
플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )
전자공학회논문지
1987 .01
높은 종횡비를 갖는 구조물의 제작을 위한 ( 110 ) Silicon 이방성 습식 식각에 관한 연구 ( Anisotropic Bulk Etching of ( 110 ) silicon for Fabrication of Micro Structure with High Aspect Ratios )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Pt/HfSixOy/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .11
무전해 니켈 도금과 실리콘의 이방성 식각을 이용한 미세 가동 구조물의 제작 방법에 관한 연구
전기학회논문지 C
2000 .06
멤브레인 구조 제작은 위한 단결정 실리콘의 이방성 습식 식각
한국반도체장비학회지
2003 .01
단결정 실리콘의 3차원 미세패턴 가공 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1996 .06
저가 , 고효율 단결정 실리콘 태양전지의 제조 ( Fabrication of Low cost , High Efficiency Single Crystal Silicon Solar Cells )
전자공학회논문지-A
1994 .07
단결정 실리콘 태양전지의 반사방지막에 적용하기 위한 다공성 실리콘에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2007 .04
단결정 실리콘의 초정밀가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .10
다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )
전자공학회논문지-A
1994 .11
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