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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 힘 발생 메커니즘을 포함한 시스템 구동 원리
3. 단위 구동원 조합과 정량화
4. 박형 간극에서의 물리적인 내재 특성
5. 이동 스테이지의 동특성
6. 성능 평가
7. 결론
후기
참고문헌
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고정밀 회전 및 축방향 이송을 위한 신개념 원통형 자기부상 스테이지
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2018 .07
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