초정밀 나노 스테이지에서의 다중 변위 확대 기구 해석

민경석; 최우천

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 민경석 최우천

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문요약집

발행연도: 2005.6

수록면: 118 - 118 (1page)

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#다중 변위 확대 기구 #나노 스테이지 #변위 확대 기구

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민경석

소속기관 LS 엠트론

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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최우천

소속기관 고려대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

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