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논문 기본 정보

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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 SD編 第44卷 第8號
발행연도
2007.8
수록면
8 - 15 (8page)

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본 논문에서는 산화된 다공질 폴리실리콘을 이용하여 전계 방출 소자를 제작하여, 각각의 픽셀에 따른 전기적 특성과 형광체의 발광 특성을 조사하였다. 실제 대면적 디스플레이 소자에 적용하기 위해서 PM 방식을 이용해서 소자를 픽셀별로 동작하였고, 상부금속 전극의 어레이에 따른 두께와 폭의 공정조건을 확립하였다. 산화된 다공질 폴리실리콘의 미세 구조를 분석하고, 각각의 픽셀에 따른 전계방출 특성을 조사해 보았다. 상부금속 전극의 두께와 폭에 따른 전자방출 특성을 조사해 본 결과 Ti/Pt(2㎚/7㎚)가 가장 적절한 두께라는 것을 확인 할 수 있었고, 2.5 ㎜ 이상 폭에서 전자방출 효율이 증가하는 모습을 확인 할 수 있었다. 각 픽셀에 따른 소자의 전기적 특성은 픽셀마다 조금씩의 차이는 있지만 거의 동일한 누설 전류와 방출 전류가 나타남을 확인할 수 있었고, 동일한 크기의 효율도 관찰할 수 있었다. 누설 전류와 방출 전류는 시간이 증가함에 따라 감소하는 모습이 나타나긴 하였으나, 모든 픽셀이 거의 동일하게 감소하였다. 각각의 픽셀에 따른 휘도는 큰 차이가 없음을 확인할 수 있었고, 20 V에서 700 ㏅/㎡ 이상의 높은 휘도를 나타내었으므로 실제 디스플레이 소자로도 응용이 가능할 것이다.
#porous polysilicon #field emitter #field emission display(FED) #pixel array #emission efficiency

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. OPPS 전계 방출 소자의 원리
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
감사의 글
참고문헌
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