DC magnetron sputtering에 의해 제조된 SnO₂:Sb 투명전도막의 특성

이성욱; 최원석; 박미주; 김형진; 홍병유

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저자정보: 이성욱 최원석 박미주 김형진 홍병유

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 293 - 293 (1page)

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