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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.7
수록면
65 - 65 (1page)

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1997

반응성 DC sputtering으로 제작한 SnO₂ : Sb 박막의 전기적ㆍ광학적 특성
정해원 ,  이천 ,  신재혁 외 4명 한국표면공학회지 1997.12 학술저널
반응성 DC Magnetron Sputtering으로 제작한 SnO₂ 박막의 Sb dopant가 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향
정해원 ,  이천 ,  신재혁 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료

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