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대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제31권 제10호
발행연도
2007.10
수록면
876 - 883 (8page)

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Numerical simulations are conducted for the design of a micro thermal mass air flow sensor (MAFS), which consists of a microfabricated heater and thermopiles on the silicon-nitride (Si₃N₄) thin membrane structure. It is important to find the proper locations of these thermal elements in the design of MAFS with improved sensitivity. Three heating modes of the micro-heater are considered: constant temperature, constant power and heating pulses. The analyses are focused on the membrane temperature profile near the sensing section. Considered are the practical flow velocities, ranging from 3 ㎧ to 35 ㎧, and the corresponding Reynolds numbers from 1000 to 10000. The results show that one of optimum sensing locations is about 100 ㎛ away from the microheater. It is concluded that the heating mode and configurations of thermal elements are the main factors for the MAFS with higher sensitivity.
#Thermal Mass Flow Sensor(열식 질량유량센서) #Sensing Location(감지위치) #Micro-Thermopile(마이크로 열전퇴) #MEMS Sensor Design(멤스 센서 설계)

목차

Abstract
1. 서론
2. 수치해석
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (9)

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1. [학술지(정기간행물)] - / 1997 / Micromachined Flow Sensors - A review 8 (1) : 7 ~ 16 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 1999 / Thermal Flow Sensor for Liquids and Gases Based on Combinations of Two Principles A73 : 7 ~ 13 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 2006 / A high-temperatureThermopile Fabrication Process for Thermal Flow Sensors A130 : 262 ~ 266 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 1964 / Thermal Instability in a Horizontal Fluid Layer Effect of Boundary Conditions and Non-linear Temperature Profile google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 2004 / Multi-range Silicon Micromachined Flow Sensor, A110 : 282 ~ 288 google schola

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