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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.11
수록면
97 - 102 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

주기 발열 파형을 이용한 열식 질량 유량계의 특성에 관한 수치적 연구
전홍규 ,  오동욱 ,  박병규 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

2006

열식 질량 유량계의 측정 최적화를 위한 수치적 연구
전홍규 ,  오동욱 ,  박병규 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료

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Numerical simulations are conducted for the optimization of a thermal mass air flow sensor with silicon-nitride (Si₃N₄) thin membrane structure. This study aims to find the optimal location of temperature sensors on the thin membrane, where the higher sensitivity can be achieved, for the development of a MEMS fabricated thermopile mass air flow sensor which is driven in a constant heater temperature mode. The simulations, thus, focus on the membrane temperature profile according to variation of the flow velocity. The flow velocity of the simulations is ranging from 2 ㎧ to 40 ㎧, and the corresponding Reynolds numbers vary from 1000 to 11000.
#Thermal mass air flow sensor(열식 질량유량센서) #Sensitivity(측정 감응도) #Membrane(멤브레인) #Temperature sensor location(온도센서 위치)

목차

Abstract
1. 서론
2. 수치해석 방법 및 조건
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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