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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
1,754 - 1,759 (6page)

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The precision positioning system requires robust structural design to obtain enough bandwidth and efficient magnetic circuit to have fast access time. In this paper, the 3-axis nano stage was proposed and dynamic characteristics was improved by design of experiments (DOE) based on specifications of our precision positioning device. Finally, it was checked that the designed actuator had the proper dynamic characteristics through dynamic experiments.
#3-axis Nano Stage(3축 나노 스테이지) #Positioning(위치결정) #Magnetic Circuit(자기회로) #Flexible Mode(유연 모드) #Design of Experiments(실험계획법) #Dynamic Characteristics(동특성)

목차

Abstract
1. Introduction
2. Overall Structure
3. Experiments and Tuning of Initial Model
4. Improvement of 3-axis Nano Stage
5. Experiments of Final Model
6. Conclusions
References

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