메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.10
수록면
1 - 6 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

CAE를 이용한 나노 임프린트 스테이지의 동적 거동해석
이강욱 ,  이민규 ,  이재우 외 5명 한국생산제조학회지 2007.10 학술저널
CAE를 이용한 나노 임프린트 스테이지의 동적 거동해석
이강욱 ,  이민규 ,  임홍재 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.10 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
A precision nano-imprinting stage has been widely used in the fields of the nano-technology. In this study, an analysis method of a nano-imprinting stage machine using FEM and flexible multi-body kinematics and dynamics has been presented. We have developed a virtual imprinting machine to evaluate the prototype design in the early design stage. The simulation using CAE for the imprinting machine is not only to analyze static and dynamic characteristics of the machine but also to determine design parameters of the components for the imprinting machine, such as dimensions and specifications of actuators and sensors. Structural components as the upper plate, the rotator, the shaft and the translator have been modeled with finite elements to analyze flexibility effects during the precision stage motion. In this paper flexible multi-body dynamic simulation is executed to support robust design of the precision stage mechanism. In addition, we made the 4-axis stage model to compare with 3-axis stage model.
#Nano-imprinting stag(나노 임프린팅 스테이지) #3-axis stag(3축 스테이지) #4-axis stag(4축 스테이지) #CAE(컴퓨터응용공학) #Simulation(가상) #Design(설계)

목차

Abstract
1. 서론
2. State mechanism
3. 스테이지 모델링
4. FEM modeling and flexible body
5. Stage 거동 특성
6. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

측면충돌 안전성 향상을 위한 차체의 점용접 배치 최적설계
박홍익 ,  김규학 ,  임홍재 대한기계학회 춘추학술대회 2011 .11
나노 임프린팅 스테이지의 정렬제어 시 발생하는 진동해석
이용훈 ,  이정석 ,  정재일 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2010 .11
CAE를 이용한 용접로봇의 진동해석
이승윤 ,  이정석 ,  이용권 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2010 .06
멀티그레이드 윤활유의 탄성유체윤활 유막 측정 연구
장시열 ,  김승재 ,  김재홍 외 2명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2004 .11
변동하중 조건에서 점접촉 탄성유체윤활의 유막거동 연구
장시열 ,  조재철 Tribology and Lubricants 2009 .12

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016066264