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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
13 - 21 (9page)

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본 연구에서는 반도체나 MEMS형 소재에 많이 응용되는 박형(plate-like thin film)재료의 두께 및 물성 측정에 활용이 가능한 램형 탄성파모드의 응용기법이 소개된다. 박형금속재료내 탄성파 모드분석을 위한 분산곡선이 소개되며, 탄성파 모드의 분산성과 속도변화를 이용한 두께 및 물성 측정의 실험적 기법이 제안된다. 박형재료내의 물성과 두께변화는 특정 탄성파모드의 속도변화에 민감한 의존성을 나타내게 되며 이 같은 주파수의존재성은 저주파대역의 기본 모드에서 더욱 크게 나타남을 확인할 수 있었다. 향후 본 연구의 결과는 다양한 나노/MEMS소재의 공정에 대한 실시간 모니터링 기법으로 활용될 수 있을 것으로 기대된다.
#Elastic Wave #Thin film #Material property #Thickness

목차

Abstract
1. 서론
2. 유도초음파와 MEMS/NANO 기술
3. 유도초음파에 의한 박만소재의 미세모니터링기법
4. 결론
5. 후기
6. 참고문헌

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