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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
34 - 38 (5page)

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Mechanical properties of micro/nano-sized materials highly depend on their microstructure such as grain morphology and crystal orientation. In this study, the relationship between the microstructure and the mechanical properties of electrodeposited and sputtered thin films used for MEMS device were investigated. Theoretical elastic modulus from texture information showed good matches with experimental values measured by nanoindenter. Furthermore, the nanowear properties of thin films were characterized by ramped and constant nanoscratch experiments, resulting that the wear depths of MEMS materials under harsh tribological condition were determined by combination of their hardness and the elastic recovery based on the microstructural origins.
#MEMS(멤스) #Microstructure(미세조직) #Mechanical Properties(기계적 물성) #Nanoindentation(나노압입) #Nanoscratch(나노스크래치)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. MEMS 재료의 미세조직
4. MEMS 재료의 탄성계수 및 경도
5. MEMS 재료의 마모특성
6. 결론
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