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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.15 No.4
발행연도
2006.8
수록면
15 - 21 (7page)

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2006

AE를 이용한 AFM 연성 영역 가공 특성 연구
안병운 ,  이광호 ,  이성환 한국생산제조학회지 2006.08 학술저널

2005

AE를 이용한 AFM 연성 영역 가공 특성 연구
안병운 ,  이광호 ,  이성환 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Recently, atomic force microscope(AFM) with suitable tips is being used for nano fabrication/nanometric machining purposes. In this paper, acoustic emission(AE) was introduced to monitor the nanometric machining of brittle materials(silicon) using AFM. In the experiments, AE responses were sampled, as the tip load was linearly increased(ramped load), to investigate the machining characteristics during a continuous movement. By analyzing the experimental results, it can be concluded that measured AE energy is sensitive to changes in the mechanism of material removal including the ductile-brittle transition during the nanometric machining. The critical depth of cut value for the transition is evaluated and discussed.
#Acoustic Emission(음향 방출) #Ductile/brittle transition(연성/취성 전이) #Nano machining(나노 가공)

목차

Abstract
1. 서론
2. AFM machining
3. 실험 및 결과
4. 이론적 결과와 실험적 결과 비교 분석
5. 결론
후기
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