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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 춘계학술대회 논문집
발행연도
2004.4
수록면
27 - 33 (7page)

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Electro-rheological fluid is recently used for the micro polishing of 3-dimensional micro-aspherical lens. It's also used for polishing small area defects on the wide flat wafer. Since ER fluid shows a behavior of viscosity changing under certain electric fields, micro polishing efficiency may be enhanced for certain cases. In this paper, a perfluorinated carbonyl fluoride oil based ER fluids was used to improve surface polishing rate and submicron-scale accuracy. As the polishing electrodes, micro size cylindrical tools had been used for maximizing the electric field. An experimental device, which was applied for micro polishing a number of wafers of 4 inches in size and other workpieces , was made on a precision polishing system. It consisted of a steel electrode, a wafer fixture, 10㎃ current and DC 5㎸ power supply unit, and a controller unit. From the Experiments, the ER fluid is applicable for micro polishing of small parts.
#ERF(Electro-Rheological Fluid: 전기점성유체) #Micro Polishing(미세 연마) #Electric Field(전기장) #Abrasives(연마재) #Surface Roughness(표면 거칠기)

목차

Abstract
1. 서론
2. 가공 특성
3. ER유체의 종류와 운동 모드
4. ER유체 연마 실험
5. 결론
참고문헌

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