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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 춘계학술대회 논문집
발행연도
2004.4
수록면
453 - 458 (6page)

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A capacitive sensor is a proper device for measuring high small displacement. General design parameters and procedure are discussed and a test sensor was built to have a measuring range of 100㎛ and a sensitivity about 30㎚. This sensor has two opposing electrode of comparably large area and has nominal gap distance about 150㎛. So as to achieve a nano order displacement sensitivity, both sensor and target system have to be considered. This is important for the sensitivity can be achieved by minimizing a system total noise level in electronic type sensor application. Typical performance of the developed sensor is demonstrated in precision moving stage having 0.1㎛ moving resolution.
#capacitive #sensor #nano #large area

목차

Abstract
1. 서론
2. 정전용량 형 센서
3. 실험 결과
4. 결론
참고문헌

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