A Study on a Capacitive Displacement Sensor for the Ultraprecision Measurement

Hyeongjoon Ahn; Inbae Chang; Dongchul Han

A Study on a Capacitive Displacement Sensor for the Ultraprecision Measurement

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초정밀 측정용 정전용량 변위센서에 관한 연구

Type: Academic journal

Author: Hyeongjoon Ahn (서울대학교) Inbae Chang (강원대학교) Dongchul Han (서울대학교)

Journal: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.14 No.11 KCI Accredited Journals SCOPUS

Published: 1997.11

Pages: 110 - 117 (8page)

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A Study on a Capacitive Displacement Sensor for the Ultraprecision Measurement

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#capacitive displacement sensor(정전용량 변위센서) #charge density method(전하밀도법) #sensitivity(민감도) #sensor design parameters(센서설계인자)

ABSTRACT
1. 서론
2. 전하밀도법에의한 정전용량센서 해석
3. 원형평면 정전용량센서 변위민감도 실험
4. 결론
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