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이용수
1. 서론
2. 전자빔 리소그래피 장치
3. 전자빔 가공 공정 및 파라미터
4. 전자빔 가공 응용 예
5. 국내외 동향
6. 결론
후기
참고문헌
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FIB 가공 공정 특성 분석
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2005 .06
2차원 나노 다공성 소재의 규칙적 패터닝 및 이를 이용한 3차원 나노 구조체 제작 응용 공정
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2012 .10
미세가공의 고효율화를 위한 다중 에너지빔 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
나노분석기술 개발
전자공학회지
2001 .01
나노전자소자기술
[ETRI] 전자통신동향분석
2005 .10
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