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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.6
발행연도
2009.6
수록면
7 - 13 (7page)

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#Optical Devices(광학소자) #Electron Beam Lithography(전자빔 리소그래피) #Nano Imprint Lithography(나노 임프린트리소그래피) #Photonic Crystal Light Emitting Diode(광자결정 LED)

목차

1. 서론
2. 전자빔을 이용한 고효율 나노 구조 광학소자 패터닝
3. 임프린트를 이용한 고효율 나노 구조 광학소자 패터닝 현황
4. 결론
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