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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.9 No.2
발행연도
2008.4
수록면
28 - 33 (6page)

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In a scanning electron microscope (SEM), outside acoustic noise causes image noise that distorts observations of the specimen being examined. A SEM that is less sensitive to acoustic noise is highly desirable. This paper investigates the image noise problem by addressing the mode shapes of the base plate and the transmission path of the acoustic noise and vibration. By arranging the position of the rib, a new SEM base plate was developed that had twisting as the 1st and 2nd modes. In those two twisting modes, vibration nodes existed near the center of the base plate where the specimen chamber is placed. Less vibration was transmitted to the chamber and to the specimen by the twisting modes compared to bending ones, which are the 2nd and 3rd modes for a rectangular plain base plate. An SEM with the developed base plate installed exhibited a significant reduction of image noise when exposed to acoustic noises below 250 ㎐.
#Scanning electron microscopy #Mode shape #Natural frequency #Acoustic noise #Resonance

목차

1. Introduction
2. The SEM and Excitation of Image Noise
3. Mode Shaping of the Structure
4. Conclusions
REFERENCES

참고문헌 (15)

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1. [단행본] - Tokita, Y / 1987 / Handbook for Precise Isolation of Vibration / FUJI Techno System : 98 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Steinberg, D. S / 1983 / Practical Manual for Countermeasure of Vibration for Electrical Equipments / Japan Technical Economy Center : 286 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Leissa, A. W / 1973 / The Free Vibration of Rectangular Plates / J. Sound Vibration 31 (3) : 257 ~ 293 google schola 4. [단행본] - Sekiya, S / 1982 / Handbook for Design of Plates’ Stiffness / Asakura Publishing : 141 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Chen, T. Y / 1990 / Structural Modification with Frequency Response Constraints for Undamped MDOF Systems / Computers and Structures 36 (6) : 1013 ~ 1018 google schola

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