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자료유형
학술저널
저자정보
임선종 (한국기계연구원 지능형생산시스템본부) 이찬홍 (한국기계연구원 지능형생산시스템본부)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제12권 제2호
발행연도
2009.1
수록면
26 - 30 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (11)

2009

집속 렌즈의 초점 거리 변화에 대한 프르브 전류 분석
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자총의 전압 측정
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 영상 획득에 필요한 구성 요소 구현
임선종 ,  이찬홍 한국레이저가공학회지 2009.01 학술저널

2008

주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프르브 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.11 학술대회자료
주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프로브 전류의 차단
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회지 2008.10 학술저널
주사 전자 현미경에서 빔 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료
주사 전자현미경에서 프르브 전류의 측정
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.05 학술대회자료

2007

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 소프트웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.11 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.10 학술대회자료

2006

전자 현미경의 제어 신호 체계의 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Scanning Electron Microscopy (SEM) includes high voltage generator, electron gun, column, secondary electron detector, scan coil system and image grabber. Column includes electron lenses (condenser lens and objective lens). Condenser lens generates fringe field, makes focal length and control spot size. Focal length represents property of lens. Objective lens control focus. Most of the electrons emitted from the filament, are captured by the anode. The portion of the electron current that leaves the gun through the hole in the anode is called the beam current. Electron beam probe is called the focused beam on the specimen. Because of the lens and aperture, the probe current becomes smaller than the beam current. It generate various signals(backscattered electron, secondary electron) in an interaction with the specimen atoms. In this paper, we describe the result of research to develop the core elements for low-resolution SEM.
#Scanning electron microscopy #electron lenses #scan coil

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