레이저를 이용한 N₂ 플라즈마 쉬스 분석

정진수 ,  김병환

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Study on effect of pre-existing plasma on the characteristics of local sheath plasma

Yeong-Shin Pa ,  k ,  Kyung-Jae Chung 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Detail relation of negative ion density with positive ion mass and sheath parameters

Hye-Ran Kim ,  Hyun-Jong Woo ,  Jong-Ho Sun 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Modelling on Sheath Expansion of Two-dimensional Grid Electrodes

Changho Yi ,  Won Namkung ,  Moohyun Cho

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

High density micro ion beam by plasma ion source

Masaki SUGAWARA ,  Ha ,  uo KASAHARA 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Sheath plasma expansion of high voltage pulsed power diode gap

류충곤 ,  최명철 ,  송기백 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Composition Depth Profiling of Fe/Ni and Pt/Co Multilayers Using a Buckminsterfullerene (C₆₀) Ion

K. J. Kim ,  D. W. Moon ,  P. Chi 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Electron paramagnetic resonance spectra of natural spinel MgAl₂O₄ doped with Me³+ (Me=Cr³+, Fe³+) ions

The-Long Phan ,  Manh-Huong Phan ,  A. N. Ulyanov 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .12

Monitoring Ion Energy Distribution in Capacitively Coupled Plasmas Using Non-invasive Radio-Frequency Voltage Measurements

Myung-sun Choi ,  Seok-Hwan Lee ,  Yunchang Jang 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2014 .11

Focus ring 의 수명향상에 관한 연구

양경채 ,  이호석 ,  박성우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

압력 변화에 따른 플라즈마 쉬스(Sheath)의 특성 연구

홍보한 ,  이강일 ,  김곤호

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Effects of the Sheath on Determination of the Plasma Density of Microwave Probe

Dae-Woong Kim ,  Shin-Jae You ,  Byung-Keun Na 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

유한 오름 시간을 갖는 음전위 펄스에서 시변환 플라즈마 덮개의 거동 연구

김곤호 ,  김영우 ,  김건우 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1999 .08

CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation

유동훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Plasma Source Ion Implantation using High Power Pulsed RF Plasma

Seunghee Han ,  Yeonhee Lee ,  Youngwoo Kim 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Plasma Focus 장치를 이용한 Dense Plasma의 여기온도 측정과 Ion밀도 측정

홍영준 ,  문민욱 ,  이수범 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Nano-Structures on Polymers Evolved by Ion Beam/Plasma

Myoung-Woon Moon ,  Kwang-Ryeol Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08