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What do we know about plasma?
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2020 .02
High density micro ion beam by plasma ion source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
플라즈마 생활건강(Plasma Life-Health)
진공이야기
2020 .06
레이저 기반 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
플라즈마 진단 센서를 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 시스템
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Experimental investigation on the plasma generation efficiency and plasma parameters in inductively coupled plasmas with a serial and a parallel antenna
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
레이저 스펙클 패턴을 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 진단을 위한 다이오드레이저 기반의 Nd:YAG 레이저 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Plasma 모델링과 시뮬레이션을 위한 웹기반 Plasma Chemistry 데이터베이스
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Focus ring 의 수명향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
플라즈마 진단을 위해 개발한 전원장치 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
고밀도 플라즈마 환경에서의 실리콘 부품 고장 분석
한국분석과학회 학술대회
2016 .11
공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
0.4 MW 급 분절형 아크 히터 플라즈마 풍동의 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 방출광 진단을 이용한 플라즈마 진단 및 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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