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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
108 - 111 (4page)

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A good image acquisition is related to the scanning wave and frequency of the electron beam in a scanning electron microscope (SEM). In this paper we analyzed the deflection coil and a driver optimization for an image improvement. Appropriate scan frequency and waveform are selected through experiments, which guarantees an enhanced image quality. Furthermore, scan wave modulations considering rising and falling time interval are implemented, resulting in an advanced image.

목차

Abstract
1. 서론
2. 스캔 파형과 이미지
3. 영상 왜곡의 주요원인
4. 영상 분석
5. 결론
후기
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