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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.16 No.5
발행연도
2007.10
수록면
122 - 128 (7page)

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2007

주사 전자현미경의 이미지 해상도 향상을 위한 방안 및 실험적 검증
김동환 ,  김영대 ,  박만진 외 2명 한국생산제조학회지 2007.10 학술저널
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초록· 키워드

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The electric part of thermal SEM(Scanning Electron Microscopy) consists of high voltage generation, lens control, and image processing. Several methodologies for enhancing SEM image are addressed and those results are verified through analyses and experiments. The controller employes a DSP(Digital Signal Processing), making the system more flexible and convenient than the classical analogue based controller. In some parts based the analog circuit, there are inevitable sources of noise and image distortion. The experimental investigation is provided along with analytical proof to enhance the SEM image.
#SEM(전자 주사 현미경) #image distortion(이미지 왜곡) #noise elimination(노이즈 제거) #image enhancement(이미지 향상) #lens control(렌즈 제어) #experimental proof(실험 검증)

목차

Abstract
1. 서론
2. 전장부의 구조
3. 이미지의 개선
4. 이미지 개선 방안
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (6)

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1. [단행본] - Orloff, J. / 2004 / Handbook of Charged Particle Optics / CRC Press google schola 2. [단행본] - Lee, R. E / 1993 / Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis / PTR Prentice Hall google schola 3. [단행본] - Reimer, L. / 1998 / Scanning Electron Microscopy - Physics of Image Formation and Microanalysis / Springer google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Millman, J. / / Microelectronics, second edition / Large-Signal Electronics Power Circuits and Systems 17 : 773 ~ 812 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Kang, H. B. / / Electromagnetic Theory / Electromagnetic Induction 12 : 287 ~ 299 google schola

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