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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
112 - 115 (4page)

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In a electron beam lithography, pattern shapes are dependent on the scanning method. In this work, four types of scanning methods are implemented and their characteristics are investigated. For a 11x11um pattern, a Zigzag scanning method proves a precise pattern generation. The other ways such as SEM scanning and swirl in-out scanning method result in some distorted pattern shape.
#Electron beam lithography(EBL) #Pattern shape #Scanning Method #Polymethylmethacrylate(PMMA)

목차

Abstract
1. 서론
2. 전자빔을 이용한 패턴 제작
3. 주사기법에 따른 패턴형상
4. 결론
후기
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