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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
305 - 310 (6page)

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In micro/nano-scale contacts in MEMS and NEMS, capillary and van der Waals forces generated around contacting micro-asperities significantly influence the performance of concerning device as they are related to adhesion and stiction of interacting surfaces. In this regard, it is of prime importance to accurately estimate the magnitude of surface forces so that an optimal solution for reducing friction and adhesion of micro/nano-surfaces may be obtained. We introduce an effective method to calculate these surface forces based on topography information obtained from an atomic force microscope.

목차

Abstract
1. 서론
2. 표면력 해석
3. 실 접촉면의 표면력 해석
4. 결론
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-552-014791088