나노스케일 표면돌기 간의 미세접촉에 대한 해석

안효석; 장동영

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 안효석 (서울산업대학교) 장동영

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회지 Vol.18 No.4

발행연도: 2009.8

수록면: 369 - 374 (6page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

In micro/nano-scale contacts in MEMS and NEMS, capillary and van der Waals forces generated around contacting micro-asperities significantly influence the performance of concerning device as they are closely related to adhesion and stiction of interacting surfaces. In this regard, it is of prime importance to accurately estimate the magnitude of surface forces so that an optimal solution for reducing friction and adhesion of micro/nano-surfaces may be obtained. We introduced an effective method to calculate these surface forces based on topography information obtained from an atomic force microscope. This method was used to calculate surface forces generated in the contact interface formed between diamond-like carbon coating and Si₃N₄ ball. This method is shown to effectively demonstrate the influence of capillary force in the contact area, especially in humid atmosphere.

#micro/nano-scale contact(마이크로/나노접촉) #rough surfaces(거친 표면) #surface forces(표면력) #capillary force(모세관력) #van der Waals force(반데르발스힘) #atomic force microscopy(원자현미경학)

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

1. [단행본] - Sulouff, R. E / 1998 / MEMS Opportunities in Accelerometers and Gyros and the Microtribology Problems Limiting Commercialization,” Tribology Issues and Opportunities in MEMS, Ed. Bhushan, B. / Kluwer Academic Publishers : 109 ~ 120

2. [학술지(정기간행물)] - Miller, S. L / 1999 / Failure Modes in Surface Micromachined Micro- Eletromechanical Actuation System / Microelectronics Reliability 39 : 1229 ~ 1237

3. [학술대회논문] - Tanner, D. M / 2000 / Reliability of Surface Micromachined Microeletro Mechanical Actuators / 22nd Int. Conf. in Microeletronics : 97 ~ 104

4. [단행본] - Adamson, A. W / 1990 / Physical Chemistry of Surfaces, 5th ed / Wiley

5. [단행본] - Israelachvili, J. N / 1991 / Intermolecular and Surface Forces, 2nd ed / Academic press

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

안효석

소속기관 서울과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10% 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 111 이용수 5,651

장동영

소속기관 한국전자기계융합기술원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 155 이용수 10,324

이 논문과 함께 이용한 논문

유한요소 해석을 이용한 초음파원자현미경 캔틸레버의 접촉 공진주파수 특성 분석

이주민 , 한유하 , 곽동열 외 1명 한국생산제조학회지 2014 .10

원자력현미경의 위상차영상을 이용한 나노표면의 미소기계적 특성 평가

안효석 한국생산제조학회지 2007 .10

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-552-018588987

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (10)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)