RF 플라즈마를 이용한 다이아몬드 박막의 제조

신재균 ,  현준원

한국표면공학회지

1998 .06

RF 플라즈마 CVD에 의한 CH₄-H₂-O₂ 혼합 기체로부터 다이아몬드 박막의 합성

李常熙 ,  李德出

전기학회논문지

1998 .11

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

RF Planar Magnetron Plasma CVD에 의한 DLC박막합성에 미치는 RF Power와 반응가스 압력의 영향

김성영 ,  이재성

한국재료학회지

1997 .01

고주파 플라즈마 CVD에 의한 저 압력에서의 다이아몬드 막의 성장

具孝根 ,  朴相鉉 ,  朴在潤 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .02

마이크로파 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 결정배향성

신예식 ,  최성조

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1991 .10

고주파플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드상 탄소박막의 합성

朴相鉉 ,  李德出

전기학회논문지

1990 .10

표면 플라즈마를 이용한 나노 다이아몬드 박막 합성

박영민 ,  배문기 ,  김정완 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2016 .04

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

증착변수에 따른 다이아몬드 박막특성 연구

최지환 ,  박종완 ,  박정일 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

기상증착 다이아몬드 웨어퍼 제조시 잔류응력의 평가 및 영향 분석

정증현 ,  이소윤 ,  권동일 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Microwave Plasma CVD로 제조한 다이아몬드 박막의Morphology에 관한 연구

박영수 ,  김성훈 ,  이조원

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

고주파 플라즈마 CVD 다이아몬드 박막의 합성시 첨가된 산소의 효과

김대일 ,  이상희 ,  이병수 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

DC Plasma CVD 법에 의한 다이아몬드의 성장에 관한 연구

이상현 ,  예길촌 ,  백운승 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .11

펄스 플라즈마 CVD에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소박막 증착

임호병 ,  김동선 ,  이기선

한국자원리싸이클링학회 심포지엄

2003 .01

RF보상 삼중탐침을 통한 RF 플라즈마 진단

최익진 ,  정진욱

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

마이크로파 플라즈마 CVD 방법으로 Si, Inconel 600 및 Steel 모재위에 증착된 다이아몬드 박막의 증착특성

김현호 ,  김홍희 ,  이원종

한국표면공학회지

1995 .06

헬리콘 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 특성

현준원 ,  김경례 ,  김용진 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성

임종환 ,  강찬형

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11