플라즈마 화학 가장 증착법을 이용한 TiN/AlN 다층피막의 제조

임주완; 이승훈; 이정중

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 임주완 이승훈 이정중

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2000년도 추계 학술발표회 초록집

발행연도: 2000.11

수록면: 18 - 19 (2page)

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