비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Cr-Zr-N 박막의 기계적 특성분석

김광석; 이상율; 한준희

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저자정보: 김광석 이상율 한준희

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004년도 추계 학술발표회 초록집

발행연도: 2004.11

수록면: 97 - 98 (2page)

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2004

비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Cr-Zr-N 박막의 기계적 특성분석

김광석 , 이상율 , 한준희 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004.11 학술대회자료

비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 TiAl-Si-N 박막의 기계적 특성 분석

김광석 , 이상율 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004.05 학술대회자료

2000

비대칭 마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 AISI304박막의 내부식특성에 관한 연구

김광석 , 이상율 , 정재원 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2000.11 학술대회자료

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논문수 108 이용수 2,632

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논문수 8 이용수 133

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