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Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 요약
참고문헌
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Nucleation and growth mechanism of nitride films deposited on glass by unbalanced magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
D.C. 마그네트론 스퍼터링법에 의한 CrN-MoS₂ 박막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Cr-Zr-N 박막의 기계적 특성분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
The synthesis of teflon thin film deposited by rf magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
화학기상증착 및 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 절연박막의 물성 분석 및 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
마그네트론 코-스퍼터링에 의한 구리-니켈 합금박막 증착시 타겟의 구성방법에 따른 물성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 증착한 CIGS 박막의 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .05
마그네트론 스퍼터링으로 코팅된 Al-Si 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2000 .11
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 증착막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
강 기판위에 아크이온 플레이팅된 CrN박막의 산화
한국재료학회지
2001 .01
RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 구리박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
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