Characteristics of Ultra Water-repellent Films Prepared by Capacitively-coupled Plasma CVD

No ,  ifumi Shimazu ,  Naoki Namba 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

저 유전 재료의 에칭 공정을 위한 H₂/N₂ 가스를 이용한 Capacitively Coupled Plasma 시뮬레이션

孫采化

전기학회논문지 C

2006 .12

Numerical investigation of rf pulsing effect on ion energy distributions in capacitively coupled plasma sources

Deuk-Chul Kwon ,  Sang-Young Jung ,  Jung-Sik Yoon

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Simulation Study of Capacitively Coupled Oxygen Plasma with Plasma Chemistry including Detailed Electron Impact Reactions

김헌창

공업화학

2011 .01

방전 플라스마에 의한 CFC-12($CCl_2F_2$)의 분해

강현춘 ,  우인성 ,  황명환 외 4명

한국안전학회지

1999 .01

용량 결합형 마그네트론 스퍼터링 장치의 방전 특성

박명하 ,  곽둥주

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Dual-frequency CH₂F₂/H₂/Ar capacitively coupled plasma에서 실리콘 나이트라이드와 ArF PR의 무한대 에치 선택비

박창기 ,  이춘희 ,  김희대 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Simulations of Capacitively Coupled Plasmas Between Unequal-sized Powered and Grounded Electrodes Using One-and Two-dimensional Fluid Models

Soon-Youl So

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .10

Signal Transient and Crosstalk Model of Capacitively and Inductively Coupled VLSI Interconnect Lines

Taehoon Kim ,  Dongchul Kim ,  Yungseon Eo

대한전자공학회 ISOCC

2007 .10

용량성으로 결합된 마이크로스트립 공진기 설계에 관한 연구 ( A study on the design of the capacitively coupled microstrip resonator )

윤성현 ,  정광민 ,  김종철

한국통신학회논문지

2000 .02

기계적 펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3$/$N_2$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각

김재권 ,  주영우 ,  박연현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

Simulation of a Dually Excited Capacitively Coupled RF Plasma

Kim ,  Heon-Chang ,  Sul 외 4명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Capacitively Coupled Hybrid Ion Gel and Carbon Nanotube Thin-Film Transistors for Low Voltage Flexible Logic Circuits

최용석 ,  강주훈 ,  Ethan B. Seco 외 8명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .10

대면적 초고주파 축전결합형 전극에서 가이드링이 전기장에 미치는 영향

구교육 ,  김경훈 ,  서훈 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .10

NEW APPLICATIONS OF R.F. PLASMA TO MATERIALS PROCESSING

Kazuo AKASHI ,  Shig ,  u ITO

한국표면공학회지

1996 .10

축 방향 자장이 인가된 용량 결합형 라디오 주파수 플라즈마의 특성 연구

이호준 ,  이동영 ,  태흥식 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

A Graphical Design Method for K-band Miniaturized Amplifier using Capacitively-Coupled Match Circuit under Conditionally Stable Situation

Seung-Gab Yu ,  Yong-Hoon Kim

한국통신학회 학술대회논문집

2001 .07

이중 주파수 전원의 용량성 결합 플라즈마 식각장비에서 전극하전에 의한 입사이온 에너지분포 변화연구

최명선 ,  장윤창 ,  이석환 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

Characteristics of RF pulsed bais etching on multi-layer resist (MLR) structure using 27.12 MHz/2 MHz dual-frequency capacitively coupled plasmas

Hea-Lim Lee ,  Ka Youn Kim ,  Nae-Eung Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

고전압 용량성 결합 플라즈마 시스템의 개선된 전압 파형 출력을 위한 펄스 전류 발생장치 회로

채범석 ,  민주화 ,  서용석 외 1명

전력전자학회논문지

2019 .06