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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1999년도 대한전기학회 추계학술대회 논문집 C
발행연도
1999.11
수록면
1,066 - 1,068 (3page)

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2001

축 방향으로 자화된 용량 결합형 RF 플라즈마의 특성 연구
이호준 ,  태흥식 ,  이정해 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2001.04 학술저널

1999

축 방향 자장이 인가된 용량 결합형 라디오 주파수 플라즈마의 특성 연구
이호준 ,  이동영 ,  태흥식 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 1999.11 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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