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이용수
Abstract
1. 서론
2. 마이크로머시닝 공정
3. 해석과정 및 모델링
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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한국동력기계공학회 학술대회 논문집
1999 .11
Analyses of the Temperature Distribution at Micromachining Processes for Microaccelerometer Based on Tunneling Current Effect
한국공작기계학회지
2000 .12
미소 가속도계 센서의 주울발열 해석 ( Analysis of Joule Heating for Microaccelerometer Sensor )
대한기계학회 춘추학술대회
1998 .01
미소가속도계 센서의 재조공정에서 잔류응력 해석 ( Analysis of Residual Stresses at Manufacturing Processes for Microaccelerometer Sensors )
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2001 .05
정전기력을 이용한 마이크로가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정해석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2000 .04
A Study on the Thermal Behavior in Microaccelerometer Manufacturing Processes
KSME International Journal
1998 .12
Analyses of Temperature Behaviours at Fabrication Processes for Microaccelerometer Sensors
동력시스템공학회지
2001 .02
마이크로머시닝을 이용한 Flexible 센서 패키징
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
압저항형 고충격 미소가속도계의 최적설계 및 식스시그마 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
마이크로머시닝 기술
기계와 재료
1995 .01
마이크로머시닝을 이용한 세포 융합 기구에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
마이크로가속도계 센서의 최적형상 모색
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
1999 .11
표준마이크로머시닝 프로젝트
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
CMOS 공정과 호환되는 마이크로머시닝 기술을 이용한 마이크로파 전력센서
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
마이크로머시닝 기술에 의해 형성된 막에 있어서의 잔류응력 추정
전기학회논문지 C
2000 .06
마이크로머시닝 기술에 의해 형성된 막에 있어서의 잔류응력 추정
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
마이크로머시닝 기술을 이용한 초소형 자이로센서의 연구동향
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
턴널링 전류효과를 이용한 마이크로가속도 센서의 축전기부 해석
동력시스템공학회지
1999 .11
UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술
소성·가공
2004 .04
UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술개발
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2004 .05
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