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이용수
2004
Abstract
1. 서론
2. 레이저 마이크로머시닝 시스템의 개발
3. 레이저 가공 공정 구조
4. 마이크로 채널 제작
5. 결론
참고문헌
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광학세계
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소성·가공
2005 .08
마이크로머시닝 기술에 의해 형성된 막에 있어서의 잔류응력 추정
전기학회논문지 C
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마이크로머시닝 기술에 의해 형성된 막에 있어서의 잔류응력 추정
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전자공학회논문지-D
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