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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
스퍼터링 기술의 발전과 전망
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
고밀도 플라즈마 응용 고효율 스퍼터링 증착 공정 개발
한국재료학회 학술발표대회
2011 .01
보론 스퍼터링과 Ar과 N2 가스를 사용한 반응성 스퍼터링 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
스퍼터링 공정의 아크 저감방법
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
금속 다층 스퍼터링 막의 공정 시간과 공정 변수에 따른 스트레스 특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
플라즈마 스퍼터링 공정용 DC 전원장치에 관한 연구
전력전자학회 학술대회 논문집
2019 .07
다층 박막 스퍼터링 장비의 제어시스템에 관한 연구
전기전자학회논문지
2018 .06
스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
텅스텐 스퍼터링시 박막의 응력조절
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
스퍼터링 소스 타겟 효율 향상에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
칼슘산화물계 열전에너지변환소재의 스퍼터링 공정 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구
비파괴검사학회지
2018 .10
스퍼터링 증착법을 이용한 박막 배터리 제조 및 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
스퍼터링을 이용한 세라믹 코팅 볼트의 특성 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2017 .10
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
고종횡비 10:1 Via 가공 및 Seed layer 스퍼터링 공정 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
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